住友低溫泵 半導(dǎo)體專用 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)SICERA® Ultra KV-04
住友低溫泵 半導(dǎo)體專用 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)SICERA® Ultra KV-04
產(chǎn)品特點:
SICERA® Ultra KV-04 原位冷阱設(shè)計特點是將冷板安裝在真空室內(nèi)
當(dāng)水蒸氣被捕獲并在 100 K 下冷凝時,這可以實現(xiàn)可變的抽水速度
出色的雙逆變器技術(shù)允許在單個水冷壓縮機(jī)上混合配置冷阱和低溫泵,從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源
應(yīng)用:
物**相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)
離子注入是制造半導(dǎo)體晶圓和其他集成電路至關(guān)重要的低溫表面處理工藝
半導(dǎo)體專用:
智能手機(jī)和平板電腦(包括內(nèi)置的加速度計和陀螺儀)
電視、藍(lán)光播放器和視頻游戲機(jī)
電腦、存儲卡和 USB 閃存盤
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