住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)
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產(chǎn)品名稱:
住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)
產(chǎn)品型號(hào):
SICERA? Ultra KV-10 在線冷阱
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
住友低溫泵 半導(dǎo)體真空泵 可提供維修服務(wù)/SICERA? Ultra KV-10在線冷阱，安裝在腔室和渦輪分子泵之間，無(wú)需額外接口即可補(bǔ)充渦輪分子泵的抽水速度。KV-10出色的雙變頻器技術(shù)允許在單個(gè)水冷壓縮機(jī)上混合配置冷阱和低溫泵，從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源。
住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)
的詳細(xì)介紹
住友低溫泵 半導(dǎo)體真空泵 可提供維修服務(wù)/SICERA® Ultra KV-10在線冷阱
住友低溫泵 半導(dǎo)體真空泵 可提供維修服務(wù)/SICERA® Ultra KV-10在線冷阱
產(chǎn)品特點(diǎn)：
SICERA® Ultra KV-10 在線冷阱設(shè)計(jì)特點(diǎn)是將冷板安裝在真空室內(nèi)
當(dāng)水蒸氣被捕獲并在 100 K 下冷凝時(shí)，這可以實(shí)現(xiàn)可變的抽水速度
出色的雙逆變器技術(shù)允許在單個(gè)水冷壓縮機(jī)上混合配置冷阱和低溫泵，從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源
應(yīng)用：
物**相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）
離子注入是制造半導(dǎo)體晶圓和其他集成電路至關(guān)重要的低溫表面處理工藝
半導(dǎo)體專用：
智能手機(jī)和平板電腦（包括內(nèi)置的加速度計(jì)和陀螺儀）
電視、藍(lán)光播放器和視頻游戲機(jī)
電腦、存儲(chǔ)卡和 USB 閃存盤
