住友低溫泵 可提供維修保養服務SICERA® Smart KZ-08在線冷阱
產品特點：
SICERA® Smart KZ-08 在線冷阱是薄型冷阱型號
安裝在腔室和渦輪分子泵之間
無需額外接口即可補充渦輪分子泵的抽水速度
出色的雙逆變器技術允許在單個水冷壓縮機上混合配置冷阱和低溫泵，從而提高生產效率并節省能源
應用：
物**相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）
離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關重要的低溫表面處理工藝
半導體專用：
智能手機和平板電腦（包括內置的加速度計和陀螺儀）
電視、藍光播放器和視頻游戲機
電腦、存儲卡和 USB 閃存盤
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