IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵

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產品名稱: IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵

產品型號: FLP-60W

產品廠商: 巖瀨商事

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵 FLP系列，無需阻尼器即可實現低脈動，降低總體成本，適用于單晶圓工藝的負載追隨性優異，可實現穩定運行。

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵 的詳細介紹

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵 FLP系列

產品特點：

●低脈動

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負載波動期間的跟隨性

●無需阻尼器可節省空間

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵 FLP系列 FLP-60W 產品參數：

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