IWAKI易威奇/半導體氣動泵/驅動計量泵PDS-H115
產品特點：
●大幅度的省抗蝕劑
由于驅動源使用的是高扭矩步進馬達，因此即使由于過濾器的堵塞和粘度變化導致排出負荷增加，
排出量也幾乎不會減少，維持高的排出量精度
?噴出精度：±0.3%（F.S.） ?分辨率：0.01mL ●支持多種涂層工藝 由于可以在1個鏡頭內任意改變噴出速度，所以可以對應微量、短時間涂布等多種抗蝕劑涂布工藝 ●縮短停機時間
●適用于高粘度用途
IWAKI易威奇/半導體氣動泵/驅動計量泵PDS-H115 產品參數：
*大吐出量 12.0mL/shot 吐出速度 0.5?2.0mL/sec 吸込み速度 0.3?2.0mL/sec *高吐出圧力 1.0MPa 吐出精度 ±0.3%（F.S.） 主要材質 PTFE *大移送液粘度 10,000mPa·s
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